便攜x射線熒光光譜儀是一種常用的光譜技術，既可用于材料的組成成分分析，又可用于涂層和多層薄膜厚度的測量等。與所有的分析儀器一樣，在做出購買決定前應當考慮許多因素，例如應用領域等細節(jié)。所以，下面將著重討論在選擇一套用于測量薄層材料厚度的X射線熒光光譜儀體系時應當考慮的一些重要因素，討論的對象主要為能量色散X射線熒光光譜儀體系（EDXRF），這種體系如今已經具有許多不同的配置規(guī)格，既有臺式配置的，又有便攜的、手持式配置的。